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微納加工技術

微納加工技術

騰景科技現(xiàn)已建立衍射光學設計、全息光刻、激光直寫、干法刻蝕、納米壓印、鍍膜、精密切割和測試等全方位的技術能力。

 

復雜DOE的設計能力

全息光刻:孔徑40X10mm、光柵周期0.1-3000 線對/mm

激光直寫:DOE制作

干法刻蝕:介質(zhì)和金屬

納米壓印:光柵、波導、偏振片

支持多種材質(zhì):各種介質(zhì)氧化物,硅,熔石英,或聚合物

用途:單色分束,光譜儀器,色散補償,CGH球差補償,

以及高能激光合束等

 

?體布拉格光柵(VBG) :  已有現(xiàn)成產(chǎn)品批量發(fā)貨

-激光鎖模,窄帶濾波
-高功率合束
-脈沖整形

?WSS 光柵:可送樣

?Diffuser/DOE:可送樣